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流量校正サービス(気体質量流量)

世界に通用する流量校正サービス

弊社の流量校正サービスは、世界の国立研究所でも広く使用されているGFSシステム(dynamic gravimetric mass flow system)を使用して、測定の不確かさ± 0.013% of readingという世界最高レベルの校正を実現しています。

気体流量の定義に基づくグラビメトリック法(重量法)により、流量調整されたガスシリンダが消費した質量値を、高精度電子天びんで計測し、制御装置のハイスピードカウンタから経過時間を求め、単位時間あたりの質量流量値を定義する装置です。

この装置を用いて、検量線による補正ではなく、高純度の窒素、純空気、アルゴン、ヘリウム、水素、六フッ化硫黄を使用した実ガス校正を実現しました。

 

弊社の校正証明書は英文併記ですので、国内はもとより、海外の顧客から校正証明書類の提示・提出を求められたときでも、そのままご提出いただけます。

校正証明書サンプル

世界最高水準の標準機器と校正専用の精密計測棟

弊社の流量標準設備は、世界最高水準の校正能力を有しています。常用参照標準であるFluke Calibration社のmolbox/molblocシステムは、ラミナフロー(層流式)エレメントを用いて、倍量法により 1 sccm という微小流量から 100 slm までの幅広い範囲で校正を実施しています。

また弊社はFluke Calibration社の認定ラボであり、製造者と同じシステムで、同じプロトコルを用い、同社製molblocの校正や調整作業も可能にしました。

半導体機器や宇宙関連、医療機器などに使用される流量計は、校正環境においても高い清浄度が要求されます。お客様にも安心してご依頼いただけるよう、弊社ではCLASS10000のクリーンルームで校正作業を行い、維持管理に努めています。

豊富な知識と高い技術力

弊社の校正技術者は、流量校正に関するトレーニングを受け、流量の基礎知識から校正技術、製品知識、そして、不確かさの算出まで校正に必要な多くの知識と高い技術力を有しています。

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