molbloc/molbox/molstic/MFC-CB

名称 質量流量校正システム
メーカー Fluke Calibration, DH Instruments
型式 molbloc/molbox/molstic/MFC-CB

■不確かさ: ±0.2 % of rdg.
molbloc/miolboxシステムは、緻密なピストンシリンダ加工技術と微細鏡面加工技術を応用したラミナフローエレメントとソニックノズルエレメ ント、極限まで測定精度を高めた差圧計測システムなどにより、±0.2% of Reading という圧倒的な計測の不確かさを実現しました。 (molbox-RFMは、±0.5 % of rdg.)
■流量レンジ:0-10sccm~2000slm
molblocには、微小流量域に適したラミナフローエレメントと、大流量域に適したソニックノズルエレメントの2種類があります。 ラミナフローエレメントは、0-10sccmという微小流量域から100slmまでの流量域をカバーします。また、ソニックノズルエレメントは、 0-10slm?最大10000slmの大流量までをカバーすることが出来ます。
■最速1secの高速応答
molbloc/molboxシステムは、これまでの積算型流量計とは異なる瞬時流量計です。 1秒毎に流量をサンプリングすることができますので、これまで非常に難しかった流量変動などのトレンド計測を可能にしました。 また、測定確度向上のため、アベレージ時間の設定は自由自在。アプリケーションに応じて最適な測定モードを設定することが出来ます。
■ユーザーフレンドリーな操作系
molbloc/molboxのシステム設定やオペレーションは、全てmolboxのフロントパネルで実行できます。 フロントパネルのキーパッドには、頻繁に使用する設定項目を一発で呼び出せるダイレクトファンクションキーを装備。複雑な操作無しで、様々な設定や操作を 実行することが出来ます。 また、マルチディスプレーには設定情報が表示されますので、どのような計測を実行中かが一目瞭然です。
■主な仕様
molbox1/molblocシステム総合仕様

流量レンジ 0-10 sccm~2000 slm
ライン圧力 標準仕様:350 kPa abs.
高圧仕様:550 kPa abs.
媒体 Air, Ar, CO, He, N2, O2, CO2, CF4, C2H6, C2H4,
CHF3, C2F6, H2, CH4, H2O, C3H8, SF6など
分解能 ±0.0015 %F.S.
精度 ±0.2 % of rdg. or ±0.02 %F.S.
リピータビリティ ±0.05 % of rdg. or ±0.005 %F.S.
リニアリティ ±0.1 % of rdg.

RFM/molblocシステム総合仕様

レンジ 0-10sccm~10000slm
ライン圧力 標準仕様:350 kPa abs.
高圧仕様:550 kPa abs.
媒体 Air, Ar, CO, He, N2, O2, CO2, CF4, C2H6, C2H4,
CHF3,C2F6, H2, CH4, H2O, C3H8, SF6など
分解能 ±0.01 %F.S.
精度 ±0.5 % of rdg.(10-100 %F.S.)/±0.05 %F.S.(0-10 %F.S.)
マクロレンジ精度 ±0.5 % of rdg.(1-10 %F.S.)/±0.05 %F.S.(0-1 %F.S.)
リピータビリティ ±0.1 % of rdg. or ±0.01 %F.S.
リニアリティ ±0.23 % of rdg. or ±0.023 %F.S.
カタログ・マニュアル ダウンロード
英語カタログ molbox_molbloc_EN(965KB)
日本語カタログ molbloc/molbox1+ System_JP(863KB)
英語マニュアル molbox1+/molbox1+S molbloc Terminal Ver.6.00 and Higher (1.52MB)

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